경제적인 기체 질량 유량 컨트롤러
클린 가스용 내장 디스플레이(옵션)

FMA5400 시리즈

단종 - 기체 질량 유량 컨트롤러

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NIST-추적 가능 캘리브레이션
온도 또는 압력 보상 없는 기체 질량 유량 측정과 제어
경제적인 알루미늄이나 내부식 316 SS 사용 가능
읽기 쉽도록 기울일 수 있는 LCD

설명

제품이 단종되었습니다.
문의사항이 있으시면, 영업 담당자에게 문의하여 주십시오.

FMA5400/5500 시리즈 전기 기체 질량 유량 컨트롤러는 10 SCCM부터 최대 1000 SLM까지의 다양한 기체의 유량을 조절할 수 있습니다. 열기가 있는 튜브를 이용한 열전도를 이용하는 FMA5400/5500는 가스 온도나 압력의 변화에 대한 보상이 필요 없이 가스 질량 유량율을 직접 측정합니다(규정 제한 안에서). 일반 유량용으로는 경제적인 알루미늄/황동 구성을, 내부식성 이상의 용도에서는 316 SS 구성을 이용할 수 있습니다. 내장 디스플레이가 없는 FMA5400 시리즈는 원격 모니터링을 위해 0 ~ 5 Vdc 또는 4 ~ 20 mA 필드 설정 가능 아날로그 출력과 함께 제공됩니다. FMA5500 시리즈는 내장된 3½자리 디스플레이와 아날로그 출력 모두 지원합니다. 디스플레이는 편하게 볼 수 있도록 90도 이상 기울일 수 있습니다. 디스플레이는 질소를 기준으로 SSCM이나 SLM 캘리브레이션 되어 있습니다(다른 가스 캘리브레이션 특별 주문을 통해 가능합니다).
FMA5400/5500 질량 유량 컨트롤러는 유입구나 유출구 압력의 변화에 상관없이 지속적 유량율을 유지하기 위한 내장형 전자기 밸브를 갖습니다. 설정값은 접근 가능한 분압기부터 케이스의 창을 통한 근처 또는 0 ~ 5 Vdc 혹은 4 ~ 20 mA의 아날로그 신호를 통한 원격으로 조절됩니다(필드 선택 가능).
FMA5400/5500 시리즈 컨트롤러는 FMA545PW 내벽 플러그-인 소켓 전원 장치(24 Vdc 전원 입력 @ 650 mA은 옵션으로 사용 가능)를 통해 공급 받을 수 있는 최대 12 ~ 15 Vdc 전원 @ 800 mA가 필요합니다. 전기기기는 역극성 보호되며, 재설정 가능한 퓨즈를 포함하고 있습니다. 모델 번호 FMA545C(별도 구매)는 아날로그 출력 신호와 전원 입력 연결 장치에 접근하기 위한 보호막이 있는 케이블 2.4m (8')를 포함한 메이팅 15-핀 "D" 커넥터를 제공합니다. FMA5500 시리즈용 LCD는 모듈 플러그를 통해 다른 전자 장치에 연결 됩니다. FMA18RC 케이블 어셈블리을 구매하면 LCD를 원격으로 설치할 수 있습니다.

형질
정밀도: ±1.5% FS, 15°C~25°C (59°F~77°F)이상의 선형성과 0~20% 범위에서
0.7~4.2 kg/cm2 (10 ~ 60 psia)
±3% FS 기기용 =100 SLM 포함
반복도: 풀 스케일의 ±0.5%
압력 계수: 온도 계수:
최대 압력 강하: 0.15% FS/°C
최대 가스 압력: 0.01% FS per psi (0.07 bar)
가스와 주위 압력: 50 psid
반응 시간: 25 ~ 100% FS 유량율 설정 내에서
±2%의 5 초
누출도: 35 kg/cm2 gage (500 psig); 1.76 kg/cm (25 psig) 최고
유체 접합부 소재:
알루미늄 모델: 5 ~ 50°C (41 ~ 122°F)
스테인레스 스틸 모델: 환경 밖에서 최대 헬륨의 1 x 10-7 cc/초
출력 신호:
선형 0 ~ 5 Vdc: 양극 산화된 알루미늄, 316 SS, 황동, FKM O-링
4 ~ 20 mA: 316 SS와 FKM O-링
트랜스듀서 전원: 1000 V 최소 로드
턴다운 비: 50 ~ 500 V 루프 저항, 최대 노이즈 ±20 mV
유체 수용 무게: 12 Vdc @ 800 mA 표준; 24 Vdc @ 650 mA 선택
규격: 50:1

† 모든 가격은 원화로 표시되어 있습니다.
참고: * 압축 피팅 대신 3/4 FNPT 연결 장치가 제공됩니다.
압축 피팅, NIST 인증서, 사용자 매뉴얼이 함께 제공됩니다. 전원 장치는 별도 판매합니다.
명시된 유량 범위는 20 psig 유입구(최대 50 SLM) 또는 25 psig 유입구(60 ~ 100 SLM 단위)와 유출구(0 psig)의 질소 또는 공기 기준입니다. 다른 가스 사용시, 증배율은 유량율을 결정하는데 사용되고 디지털 디스플레이를 필드에서 다시 설정해야 합니다.
주문 제작 캘리브레이션 주문은 모델 번호 뒤에 기체 약어와 유입구 압력/배출 압력을 덧붙이세요.
주위 온도 20ºC (70ºF)에서 캘리브레이션됩니다.
24 Vdc 동력 기기는 모델 번호 뒤에 "-24VDC"를 덧붙이세요. 추가 비용이 발생합니다.
산소 클린 기기는 모델 번호 뒤에 "02CLEAN"를 덧붙이세요. 추가 비용이 발생합니다.

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