깨끗한 기체용 질량유량계
(Economical Mass Flow Controllers and Meters for All Clean Gases)

FMA3100 시리즈

질량유량계 - 깨끗한 기체용

844,760원 FMA3103

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최대 10,000 mL/Min(10 SLM)의 유량율 측정
0 ~ 5 Vdc 선형 전압출력
경제적인 가격대의 비용 효율적인 시스템
깨끗한 기체(Clean Gas)용

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설명

FMA3100 시리즈 질량 유량 센서는 획기적인 질량 유량 센서 기술이 적용되었습니다. 최신 기술의 부품과 사용의 간편함을 고려한 설계가 적용되었으며 합리적인 가격대로 출시되었습니다. 비용 효율적 컨셉으로 공정 라인에 대한 대량 투입과 OEM 용도에도 이상적인 제품입니다. 출력은 0 ~ 5 Vdc 선형 출력입니다.

FMA3200 시리즈 질량 유량 컨트롤러는 FMA3100의 고품질 열용량 유량 센서(thermal mass flow sensor)가 동일하게 적용되었으며 정밀하고 안정적인 기체 유동 제어를 제공하면서도 컴팩트한 디자인으로 구성되었습니다. 파워-오프(Power-Off) 모드에서 유량 제어 밸브는 최소 누수율로 잠깁니다. 이 효율적 비용의 컨트롤러는 0 ~ 5 Vdc 선형 출력과 0 ~ 5 Vdc 제어 입력으로 다양한 OEM 적용에 적합합니다.

FMA3300 시리즈 디지털 유량계는 FMA3100의 특징과 공학 단위(i.e., mL/min or L/min)를 사용하는 조정 가능한 3½ 자리 LCD 디스플레이를 갖춘 제품입니다. 이 간편한 유량계는 다양한 테스트를 통해 효과가 증명되었습니다.

【기술사양】
출력: 0 ~ 5 Vdc (최소 2500 Ω)
출력 설정 전압(FMA3200만 가능): 0 ~ 5 Vdc
정밀도: ±1.5% FS*
반복도: ±0.5% FS
반응 시간: 풀 스케일의 25 ~ 100% 실제 유량율의 ±2% 내에서 2초(일반적)
작동 환경: 10°C ~ 50°C (50°F ~ 122°F), 비응결 장소
작동 압력 범위: 25°C (77°F)에서 최대 150 psi
온도 계수: °C 당 ±0.2%
압력 계수: psi 당 ±0.02%
누출도: 외부 환경에서 최대 1x10-4 SCCS 헬륨
입력 전원:
    FMA3100 / FMA3300: 12 ~ 15 Vdc, 100 mA (1.5 W)
    FMA3200: 12 ~ 15 Vdc, 250 mA (3.75 W)
연결 장치: 최대 1 L/min 유량율에 1/8" 압축 피팅, 5 L/min용 1/4" 압축 피팅, 10 L/min용 3/8" 압축 피팅
유체 접촉부 소재: 양극 산화된 알루미늄, FKM O-링, 304 및 316 SS, 에폭시, 표준 아세탈 압축 튜브 피팅
적용 가능 유체: 깨끗하고 건조한 기체 (공기, 질소, 이산화 탄소, 아르곤, 수소, 헬륨, 메탄, 산소)
여과 작용: 가스가 특정 물질을 포함할 경우, 20-micron 필터 필요
무게:
    FMA3100: 199 g (0.44 lb)
    FMA3300: 249 g (0.55 lb)
    FMA3200: 386 g (0.85 lb)
피팅 미포함 크기 (근사치):
    FMA3100: 47 L x 26 W x 90 mm H
    (1.87 x 1.03 x 3.55")
    FMA3300: 47 L x 26 W x 127 mm H
    (1.87 x 1.03 x 5.0")
    FMA3200: 81 L x 26 W x 97 mm H
    (3.17 x 1.03 x 3.80")

FMA3200 유량 컨트롤러
차압: 15 ~ 40 psi
밸브 수명: >1 million 주기; 일반적으로 밸브는 잠겨있음
제어 범위: 10:1
원격 설정 전압: 0 ~ 5 Vdc

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제품 번호/Desc.

수량

설명

FMA3100 시리즈 유량계 (디스플레이 없음)

FMA3101

664,590원

배송: 8 주

0 ~ 20 SCCM

FMA3102

717,990원

배송: 8 주

0 ~ 50 SCCM

FMA3103

844,760원

배송: 8 주

0 ~ 100 SCCM

FMA3104

844,760원

배송: 2 주

0 ~ 200 SCCM

FMA3105

801,040원

배송: 8 주

0 ~ 500 SCCM

FMA3106

801,040원

배송: 2 주

0 ~ 1,000 SCCM

FMA3107

801,040원

배송: 2 주

0 ~ 2,000 SCCM

FMA3108

801,040원

배송: 2 주

0 ~ 5,000 SCCM

FMA3109

935,570원

배송: 2 주

0 ~ 10,000 SCCM

FMA3300 시리즈 유량계 (LCD 디스플레이 있음)

FMA3301

1,216,390원

배송: 2 주

0 ~ 20 SCCM

FMA3302

1,287,600원

배송: 2 주

0 ~ 50 SCCM

FMA3303

1,350,900원

배송: 8 주

0 ~ 100 SCCM

FMA3304

1,350,900원

배송: 8 주

0 ~ 200 SCCM

FMA3305

1,350,900원

배송: 8 주

0 ~ 500 SCCM

FMA3306

1,350,900원

배송: 8 주

0 ~ 1,000 SCCM

FMA3307

1,278,710원

배송: 4 주

0 ~ 2,000 SCCM

FMA3308

1,350,900원

배송: 8 주

0 ~ 5,000 SCCM

FMA3309

1,576,860원

배송: 8 주

0 ~ 10,000 SCCM

FMA3200 시리즈 유량 컨트롤러

FMA3202-(*)

판매 상담

배송:

0 ~ 50 SCCM

FMA3203-(*)

판매 상담

배송:

0 ~ 100 SCCM

FMA3204-(*)

판매 상담

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0 ~ 500 SCCM

FMA3205-(*)

판매 상담

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0 ~ 5,000 SCCM

FMA3206-(*)

판매 상담

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0 ~ 10,000 SCCM

부속품

FMA3115PW

254,490원

배송: 2 주

FMA3100/FMA3300용 115 Vac 전원 공급 장치 및 입출력 케이블

FMA3230PW

258,870원

배송: 6 주

FMA3100/FMA3300 시리즈용 230 Vac 전원 공급 장치 및 입출력 케이블

FMA3215PW

판매 상담

배송:

FMA3200 시리즈용 115 Vac 전원 공급 장치 및 입출력 케이블

FMA3223PW

판매 상담

배송:

FMA3200 시리즈용 230 Vac 전원 공급 장치 및 입출력 케이블

FMA3000C

93,360원

배송: 2 주

피복 종단이 벗겨진 3 피트 케이블 및 연결 커넥터 - 터미널 연결 장치가 있는 전원 공급 장치용

† 모든 가격은 원화로 표시되어 있습니다.
참고: 사용자 매뉴얼과 함께 제공됩니다.

4-포인트 NIST 추적가능 인증서를 원하시면, 모델 번호에 접미사 "-NISTAIR" 를 추가하십시오. 추가 금액이 있습니다.

* 가스 및 유입구/유출구 압력을 명시하십시오.

교정은 주변 온도에 대해서만 적용되었습니다.

** 유량 범위는 건조한 공기 또는 질소가 기준입니다.
추가 비용을 통해 다른 가스도 가능합니다.(이산화 탄소, 헬룸, 아르곤, 수소, 메탄, 산소)

주문 예: (1) FMA3115PW FMA3100/FMA3300용 115 VAC 전원 공급 장치 및 입출력 케이블, 254,490원 plus (1) FMA3306 0 ~ 1,000 SCCM, LCD 디스플레이, 1,350,900원, 254,490 + 1,350,900 = 1,605,390원

제품 메뉴얼:

다운로드 FMA3100, 3100ST, 3300, 3300ST Series - Thermal Mass Flow Sensors and Meters

다운로드 FMA3200, 3200ST, 3400, 3400ST Series - Thermal Mass Flow Controllers